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三星首次将EUV技术应用于DRAM生产

发布日期:2020-03-26 13:50 浏览次数:
       韩国三星电子于25日宣布,已经成功出货100万个极紫外光刻技术(EUV)生产的业界首  款10纳米级DDR4DRAM模组,将为高端PC、移动设备、企业服务器和资料中心应用等提供更先进EUV制程技术产品,开启新里程碑。
       据韩国媒体《KoreaBusiness》报导,三星电子DRAM产品与技术执行副总裁LeeJung-bae指出,随着以EUV技术所生产的新型DRAM量产,展示三星对提供革命性的DRAM解决方案以支援全球IT客户需求的承诺。另外,这项重大进展也说明三星将如何透过即时开发高端制程技术来生产高端存储器市场的下一代产品,继续为全球IT创新贡献心力。
       三星已经出货了100万个使用EUV工艺制造的10nm级DDR4 DRAM模块,并得到了客户的评估。三星表示,评估工作完成后,将为明年大规模生产新的DRAM铺平道路。
       三星在平泽工厂的EUV专用V2生产线将于下半年开始生产DRAM模块。该生产线预计将生产4代10nm级DDR5和LPDDR5。
       这是平泽工厂除7nm逻辑芯片外又一使用EUV技术生产的芯片,三星称,EUV技术将使其单个12英寸晶圆的生产效率提升一倍。
       三星、英特尔和台积电等全球半导体制造商预计都将扩大EUV技术在芯片生产中的应用。三星此前曾表示,计划利用EUV技术生产3nm芯片。
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